钍:铝酸镧 Th:Lanthanum Aluminate Substrate

结构分子式:

LaAlO₃

形态:

单晶

晶体结构:

菱形

立方

a = 5.377 Å

α= 60.13°

a = 3.821 Å

相变:

> 500° C

密度:

6.51 g/cm³

熔点:

2180°C

膨胀系数:

10 * 10^-6/°C

介电常数 (e ):

20-25

生产方法:

类Verneuill 生长 (最小量孪晶)

取向:

(100)

取向精度:

≤ 0.5°

标准尺寸:

10mm x 10mm x 厚度 1mm 0.5mm

长度公差:

± 0.10mm (典型优于 ± 0.05mm)

厚度公差:

± 0.05mm

平行度:

≤ 0.02mm

抛光:

标准:一面

平整度:

λ/2

表面粗糙度:

Rmax ≤15nm (平均 Ra = 3nm)

划伤:

无

表面质量:

光学显微镜观察无缺陷