微生产（组装）系统

Klocke NanoTechnik公司生产的微生产系统是联系经典机械工程于现代纳米技术的桥梁。该设备不但可以操纵公斤量级的重物在很大行程范围内运动，且在整个运动过程中无回差，具有纳米级分辨率。具有多个自由度，单轴重复定位精度好于60nm。

图片1：微加工系统，350 x 350 mm² 平台

图片2：

1，高精度XY平台，行程350 x 350 mm²，分辨率200nm

2，纳米操纵模块，微型夹具，纳米测量器及晶片检测器等

3，两个旋转平台，用来控制被操纵物的方向及改变目标面积的大小

4，该位置安装微型胶粘剂配送器、纳米操纵器，扫描探针显微镜或集成我们合作伙伴的其他纳米检测装置

5，摄像机，带有图形识别软件。（如需对操纵器件定位或用于质量控制中，最多需要六个这样的摄像机）

整个操纵过程由图形用户界面控制。一些列复杂过程可通过在界面菜单中选择不同的传感器和激励元来实现。

微纳米通用检测平台（生产/组装平台）

基于以上的复杂的成套微生产组装系统，我们也可提供如上图所示通用检测平台。

它由基础框架、光学平台、直线运动及旋转马达、光学显微镜、纳米机械操纵手等几部分组成。用户可在此基础上自由地设计定制所需的功能，形成符合自身需要的微组装/生产系统。

技术指标：

• 直线马达行程：800mmx320mmx80mm. 运动分辨率：100nm
  旋转平台：直径120mm
• 纳米机械操纵手行程：20x20x15mm, 运动分辨率：0.5nm

在多年为用户提供纳米操纵装置的过程中，Klocke NanoTechnik 公司和他的合作伙伴们发现，由于用户研究的不断深入很多用户都希望在原有的设备基础上进行系统升级。正是由于这个原因的驱动，Klocke NanoTechnik 公司目前生产的所有产品都是可以在原设备的基础上不断升级的。例如，一个简单的仅仅拥有四个纳米操纵部件的简单设备，可以通过逐渐升级变成一个只需要通过用户界面给定工作命令，便可自动的同时进行对多个部件进行识别，安装等。还可在系统上集成扫描探针显微镜等设备用于质量监测和控制。所有操纵过程均具有纳米级分辨率。