产品中心

• 高分辨紫外/深紫外PHABLE光刻机
• 新品纳米激光直写光刻系统
• 新品桌面型纳米压印机
• 新品高精度压印模具激光焊接系统
• 扫描针尖电子束光刻机（SPL）
• 去胶机（微波等离子去胶机）
• 微波等离子清洗机
• 新品CERES微纳金属3D打印系统

• 单离子注入（SII）
• 微生产（组装）系统
• 德国Zoz Simoloyer®系列高能球磨机

组件

• 紫外光源系统及部件
• 纳米马达
• 纳米操纵机械手

真空和薄膜生长技术

系统

材料检测及测量技术

• 宽频介电阻抗谱仪
• 杨氏模量无损测量系统
• SCALA 扫描式激光分析仪
• 纳米级三维测量仪
• 原子力显微镜（AFM）
• AFMinSEM
• 德国Keller（凯乐）红外测温仪

实验样品及耗材

• 单晶-靶材-衬底-HOPG-高纯材料等
• 新品波带片-X射线光学元件及加工

纳米压印工艺解决方案
   ┗ 纳米压印模板及光栅点阵制作
   ┗ 光栅
   ┗ Temicon纳米压印模板

• 光刻胶(抗蚀剂)
• 新品HSQ-光刻胶/SOG

测试及加工服务

• 材料介电性能测试服务
• 提供杨氏模量无损测量服务
• 微纳米结构加工服务
• 玻璃微器件3D打印服务