氧化镁衬底 Magnesiumoxid Substrate
材料性质
结构分子式: |
MgO |
形态: |
单晶 |
晶体结构: |
立方 |
晶格参数: |
4.213 Å |
密度: |
3.58 g/cm3 |
熔点: |
2800°C |
膨胀系数: |
14.2 * 10-6/°C |
介电常数 (e ): |
10 |
衬底性质
取向: |
(100) |
取向精度: |
≤0.5° |
标准尺寸: |
10mm x 10mm x thickness 1mm or 0.5mm |
长度公差: |
± 0.10mm (typical better ± 0.05mm) |
厚度公差: |
± 0.05mm |
平行度: |
≤0.02mm |
抛光: |
标准:一面 |
平整度: |
λ/4 |
表面粗糙度: |
Rmax ≤5nm (平均 Ra = 1nm) |
划伤: |
无 |
表面质量: |
光学显微镜观察无缺陷 |