钛酸锶衬底 Strontium Titanium Substrate
材料性质
结构分子式: |
SrTiO3 |
形态: |
单晶 |
晶体结构: |
立方 |
晶格参数 |
3.905 Å |
相变: |
四方<110K |
密度: |
5.12 g/cm3 |
熔点: |
2080°C |
膨胀系数: |
11.1 * 10-6/°C |
介电常数 (e ): |
310 |
衬底性质
生产方法: |
Verneuil生长 (无孪晶) |
取向: |
(100) |
取向精度: |
≤ 0.5° |
标准尺寸: |
10mm x 10mm x 厚度 1mm or 0.5mm |
长度公差: |
± 0.10mm (典型优于 ± 0.05mm) |
厚度公差: |
± 0.05mm |
平行度: |
≤ 0.02mm |
抛光: |
标准:一面 |
平整度: |
λ/4 |
表面粗糙度: |
Rmax ≤3nm (average Ra=1nm) |
划伤: |
无 |
表面质量: |
光学显微镜观察无缺陷 |