氧化物靶材

Al2O3

氧化铝靶材

CuO

氧化铜靶材

PbZrO3

锆酸铅靶材

Supercond

超导体靶材

Y2O3

氧化钇靶材

Sb2O3

三氧化二锑靶材

HfO2 unstab.

氧化铪靶材（不稳定）

LiNbO3

铌酸锂靶材

SrO

氧化锶靶材

ZnO

氧化锌靶材

BaTiO3

钛酸钡靶材

HfO2/CaO

氧化铪/氧化钙靶材

MgO

氧化镁靶材

SrTiO3

钛酸锶靶材

ZnO dop.

氧化锌（掺杂）靶材

Bi2O3

三氧化二铋靶材

HfO2/Y2O3

氧化铪/氧化钇靶材

MoO3

三氧化钼靶材

SrZrO3

锆酸锶靶材

ZrO2 unstab.

二氧化锆靶材（不稳定）

Bi2TiO5

钛酸钡靶材

In2O3

氧化铟靶材

Nb2O3

氧化铌靶材

Ta2O5

五氧化二钽靶材

ZrO2/CaO

二氧化锆/氧化钙靶材

Bi4Ti3O12

复合二氧化钛靶材

ITO

氧化铟锡靶材

Nb2O5

五氧化二铌靶材

ThO2

二氧化钍靶材

ZrO2/Y2O3

二氧化锆/氧化钇靶材

BiTiO3

钛酸钡 靶材

LaAlO3

铝酸镧靶材

RE2O3

氟碳铈靶材

SnO2

二氧化锡靶材

CeO2

二氧化铈靶材

La2O3

氧化镧靶材

SiO2

二氧化硅靶材

TiO2

二氧化钛靶材

and others

其它氧化物靶材

CrO3

三氧化铬靶材

PbTiO3

钛酸铅靶材

SiO

一氧化硅靶材

WO3

三氧化钨靶材

铈Ce

Cerium

钆Gd

Gadolinium (4N)

钕Nd

Neodymium

铽 Tb

Terbium

镱Yb

Ytterbium

镝Dy(3N5)

Dysprosium

钬Ho

Holmium (3N5)

镨Pr

Praseodymium

铥Tm

Thulium

钇Y(3N5)

Yttrium

铒Er

Erbium

镥Lu

Lutetium

钐Sm

Samarium

铕Eu

Europium

镧La

Lanthanum

钪Sc

Scandium