化合物靶材

CrB2

二硼化铬靶材

Mo2B6

六硼化二钼靶材

TiB2

二硼化钛靶材

VB2

二硼化钒靶材

and others

其它硼化物靶材

HfB2

二硼化铪靶材

NbB2

二硼化铌靶材

Wb

硼化钨靶材

ZrB2

二硼化锆靶材

LaB6

六硼化镧靶材

TaB2

二硼化钽靶材

W2B

硼化二钨靶材

B4C

一碳化四硼靶材

Mo2C

一碳化二钼靶材

TaC

碳化钽靶材

WC6%Co

钴碳6钨靶材

ZrC

碳化锆靶材

Cr3C2

二碳化三锆靶材

NbC

碳化铌靶材

TiC

碳化钛靶材

WC12%Co

钴碳12钨靶材

and others

其它碳化物靶材

HfC

碳化铪靶材

SiC

碳化硅靶材

WC

碳化钨靶材

VC

碳化钒靶材

AlN

氮化铝靶材

HfN

氮化铪靶材

Si3N4

氮化硅靶材

TiN

氮化钛靶材

ZrN

氮化锆靶材

BN

氮化硼靶材

NbN

氮化铌靶材

TaN

氮化钽靶材

VN

氮化钒靶材

and others

其它氮化物靶材

CrSi2

二硅化铬靶材

MoSi2

二硅化钼靶材

TaSi2

二硅化钽靶材

Ti5Si3

三硅化五钛靶材

V3Si

硅化三钒靶材

Cr3S

硅化三铬靶材

NbSi2

二硅化铌靶材

Ta5Si3

三硅化五钽靶材

WSi2

二硅化钨靶材

ZrSi2

二硅化锆靶材

HfSi2

二硅化铪靶材

PtSi

硅化铂靶材

TiSi2

二硅化钛靶材

VSi2

二硅化钒靶材

and others

其它硅化物靶材

NbSe2

二硒化铌靶材

TaTe2

二碲化钽靶材

CdSe

硒化镉靶材

PbTe

碲化铅靶材

CdSe

硒化镉靶材

MoSe2

二硒化钼靶材

WSe2

二硒化钨靶材

TaSe2

二硒化钽靶材

CdTe

二碲化镉靶材

NbTe2

二碲化铌靶材

WTe2

二碲化钨靶材

ZnTe

碲化锌靶材

ZnSe

硒化锌靶材

PbSe

硒化铅靶材

MoTe2

二碲化钼靶材

and others

其它靶材