XY水平位移台 (XY Stage) AXY系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中传输系统的移动和位置控制。
XY水平位移台 (XY Stage)
AXY系列
|
|
特点
-
超高真空环境对应
-
NM型：±12.5mm
-
SM型：±12.5mm (0.01mm)
-
LM型：±12.5mm (0.005mm)
-
可电机驱动
规格
|
型 号
|
X,Y轴移动进程(mm)
X,Y轴移动精度(mm)
|
A 连接法兰
B 移动法兰
|
C内径(mm)
|
D(mm)
|
E(mm)
|
F(mm)
|
重量(kg)
|
|
AXY-275/NM
|
±12.5
1.0
|
ICF70-FT
ICF70-FT
|
φ39
|
130
|
145.5±12.5
|
90
|
3.1
|
|
AXY-275/SM
|
±12.5
0.01
|
199.5±12.5
|
|
AXY-275/LM
|
±12.5
0.005
|
193.5±12.5
|
3.5
|
|
AXY-4/275NM
|
±12.5
1.0
|
ICF114-FT
ICF70-FT
|
145.5±12.5
|
3.8
|
|
AXY-4/275SM
|
±12.5
0.01
|
199.5±12.5
|
3.9
|
|
AXY-4/275LM
|
±12.5
0.005
|
4.1
|
|
AXY-4/4NM
|
±12.5
1.0
|
ICF152-FT
ICF114-FT
|
φ70
|
180
|
224.5±12.5
|
130
|
8.1
|
|
AXY-4/4LM
|
±12.5
0.005
|
218.5±12.5
|
8.4
|
|
AXY-6/4NM
|
±12.5
1.0
|
ICF114-FT
|
224.5±12.5
|
8.6
|
|
AXY-6/4LM
|
±12.5
0.005
|
218.5±12.5
|
8.9
|
|
AXY-8/4NM
|
±12.5
1.0
|
ICF203-FT
ICF114-FT
|
224.5±12.5
|
150
|
11.2
|
|
AXY-8/4LM
|
±12.5
0.005
|
218.5±12.5
|
11.5
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封方式
|
焊接波纹管方式
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃ (测微器除外)
|
高精度三轴驱动器 (XYZ Manipulator) AMP系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的移动和位置控制。
摆动杆 (Wobble Stick)
AMWS系列
|
|
特点
-
超高真空对应
-
SM型：±12.5mm (0.1mm)
-
LM型：±12.5mm (0.005mm)
-
ICF34-FT 付导入接口(AMP-4除外)
-
可电机驱动
|
|
规格
|
型 号
|
X,Y轴移动进程
X,Y轴移动精度
|
Z轴移动进程
Z轴移动精度
(mm)
|
A连接法兰
B移动法兰
|
C(mm)
|
D(mm)
|
E(mm)
|
重量(Kg)
|
|
AMP-4/275/50SM
|
±12.5mm
0.01mm
|
50/0.5
|
ICF114-FH
ICF70-FT
|
235～285
|
319
|
---
|
11
|
|
AMP-4/275/100SM
|
100/0.5
|
240～340
|
374
|
12
|
|
AMP-4/275/150SM
|
150/0.5
|
245～395
|
430
|
13
|
|
AMP-4/275/200SM
|
200/0.5
|
250～450
|
484
|
14
|
|
AMP-4/275/50LMS
|
±12.5mm
0.005mm
|
50/0.5
|
235～285
|
325
|
11
|
|
AMP-4/275/100LMS
|
100/0.5
|
240～340
|
380
|
12
|
|
AMP-4/275/150LMS
|
150/0.5
|
245～395
|
435
|
13
|
|
AMP-4/275/200LMS
|
200/0.5
|
250～450
|
490
|
14
|
|
AMP-6/275/50SM
|
±12.5mm
0.01mm
|
50/0.5
|
ICF152-FH
ICF70-FT
|
235～285
|
319
|
ICF34-FT×4
|
12
|
|
AMP-6/275/100SM
|
100/0.5
|
240～340
|
374
|
13
|
|
AMP-6/275/150SM
|
150/0.5
|
245～395
|
430
|
13
|
|
AMP-6/275/200SM
|
200/0.5
|
250～450
|
484
|
14
|
|
AMP-6/275/50LMS
|
±12.5mm
0.005mm
|
50/0.5
|
235～285
|
325
|
12
|
|
AMP-6/275/100LMS
|
100/0.5
|
240～340
|
380
|
13
|
|
AMP-6/275/150LMS
|
150/0.5
|
245～395
|
435
|
14
|
|
AMP-6/275/200LMS
|
200/0.5
|
250～450
|
490
|
15
|
|
AMP-8/275/50SM
|
±12.5mm
0.01mm
|
50/0.5
|
ICF203-FH
ICF70-FT
|
235～285
|
319
|
ICF34-FT×5
|
13
|
|
AMP-8/275/100SM
|
100/0.5
|
240～340
|
374
|
14
|
|
AMP-8/275/150SM
|
150/0.5
|
245～395
|
430
|
15
|
|
AMP-8/275/200SM
|
200/0.5
|
250～450
|
484
|
16
|
|
AMP-8/275/50LMS
|
±12.5mm
0.005mm
|
50/0.5
|
235～285
|
325
|
13
|
|
AMP-8/275/100LMS
|
100/0.5
|
240～340
|
380
|
14
|
|
AMP-8/275/150LMS
|
150/0.5
|
245～395
|
435
|
15
|
|
AMP-8/275/200LMS
|
200/0.5
|
250～450
|
490
|
16
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃ (测微器除外)
|
倾斜旋转台 (Tilt Stage) ATS系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品的角度控制。
倾斜旋转台 (Tilt Stage)
ATS系列
|
|
特点：
规格：
|
型 号
|
A连接法兰
B移动法兰
|
C内径
（mm）
|
D
（mm）
|
E
（mm）
|
F
（mm）
|
G
（mm）
|
H
（mm）
|
倾斜角
|
重量
（Kg）
|
|
ATS-275
|
ICF70-FH
ICF70-FT
|
φ38
|
118±6.5
|
45
|
80
|
φ110
|
160
|
±5°
|
2
|
|
ATS-4
|
ICF114-FH
ICF114-FT
|
φ70
|
129±6.5
|
53
|
95
|
φ155
|
205
|
4.8
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃ （测微器除外）
|
大口径XYZ三轴位移台 (High Load XYZ Manipulator) ALF3系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中传输系统的移动和位置控制。
可用于i-GONIO以及其他样品台，极低温机构等装置的加载。
大口径XYZ三轴位移台
ALF3系列
|
|
特点：
-
超高真空对应
-
SM型：±12.5mm (0.1mm)
-
LM型：±12.5mm (0.005mm)
-
大口径移动法兰：ICF152、ICF203
-
可电机驱动
规格：
|
型 号
|
X,Y轴移动距离
X,Y轴移动精度
|
Z轴移动距离
Z轴移动精度
|
A连接法兰
B移动法兰
|
C内径(mm)
|
D(mm)
|
E(mm)
|
重量(Kg)
|
|
ALF3-8/6/50LM/H
|
±12.5mm
0.005mm
|
50mm
0.5mm
|
ICF203-FH
ICF152-FT
|
φ102
|
250～300
|
268.5
±12.5mm
|
37
|
|
ALF3-8/6/100LM/H
|
100mm
0.5mm
|
250～350
|
38
|
|
ALF3-8/6/150LM/H
|
150mm
0.5mm
|
250～400
|
39
|
|
ALF3-8/6/200LM/H
|
200mm
0.5mm
|
250～450
|
40
|
|
ALF3-8/6/250LM/H
|
250mm
0.5mm
|
255～505
|
41
|
|
ALF3-8/6/300LM/H
|
300mm
0.5mm
|
260～560
|
42
|
|
ALF3-8/6/50LMS/H
|
±25mm
0.005mm
|
50mm
0.5mm
|
270～320
|
298
±25mm
|
37
|
|
ALF3-8/6/100LMS/H
|
100mm
0.5mm
|
275～375
|
38
|
|
ALF3-8/6/150LMS/H
|
150mm
0.5mm
|
280～430
|
39
|
|
ALF3-8/6/200LMS/H
|
200mm
0.5mm
|
285～485
|
41
|
|
ALF3-8/6/250LMS/H
|
250mm
0.5mm
|
290～540
|
42
|
|
ALF3-8/6/300LMS/H
|
300mm
0.5mm
|
295～595
|
43
|
|
ALF3-8/8/50LM/H
|
±12.5mm
0.005mm
|
50mm
0.5mm
|
ICF203-FH
ICF203-FT
|
φ152
|
250～300
|
268.5
±12.5mm
|
39
|
|
ALF3-8/8/100LM/H
|
100mm
0.5mm
|
250～350
|
41
|
|
ALF3-8/8/150LM/H
|
150mm
0.5mm
|
250～400
|
42
|
|
ALF3-8/8/200LM/H
|
200mm
0.5mm
|
250～450
|
43
|
|
ALF3-8/8/250LM/H
|
250mm
0.5mm
|
255～505
|
44
|
|
ALF3-8/8/300LM/H
|
300mm
0.5mm
|
260～560
|
45
|
|
ALF3-8/8/50LMS/H
|
±25mm
0.005mm
|
50mm
0.5mm
|
300～350
|
298
±25mm
|
40
|
|
ALF3-8/8/100LMS/H
|
100mm
0.5mm
|
305～405
|
41
|
|
ALF3-8/8/150LMS/H
|
150mm
0.5mm
|
310～460
|
42
|
|
ALF3-8/8/200LMS/H
|
200mm
0.5mm
|
315～515
|
43
|
|
ALF3-8/8/250LMS/H
|
250mm
0.5mm
|
320～570
|
44
|
|
ALF3-8/8/300LMS/H
|
300mm
0.5mm
|
325～625
|
46
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃（测微器除外）
|
差动排气旋转台 (Differentially Pumped Rotary Stage) ARS系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的移动和位置控制。
差动排气旋转台ARS系列
|
|
特点：
-
超高真空环境对应（差动排气：1Pa以下）
-
中空连续旋转台
-
角度分辨率：0.1°
-
旋转速度：2rpm以下
-
可电机驱动
规格：
|
型 号
|
A连接法兰
B移动法兰
|
C内径(mm)
|
D(mm)
|
E(mm)
|
F差动排气接口法兰
|
G(mm)
|
H(mm)
|
I(mm)
|
重量(kg)
|
|
ARS-275
|
ICF70-FT
ICF70-FT
|
φ39
|
70
|
18
|
ICF34-FT
|
60
|
74
|
68.5
|
3.2
|
|
ARS-4
|
ICF114-FT
ICF114-FT
|
φ65
|
70
|
89
|
4.2
|
|
ARS-6
|
ICF152-FT
ICF152-FT
|
φ105
|
90
|
119
|
96
|
6.4
|
|
ARS-8
|
ICF203-FT
ICF203-FT
|
φ155
|
100
|
33
|
120
|
169.5
|
174
|
13.5
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
UHV密封
|
|
驱动方式
|
蜗轮
|
|
烘烤温度
|
≤200℃ (测微器除外)
|
|
角度分辨率
|
0.1°
|
|
旋转速度
|
2rpm以下
|
