超高真空冷却加热装置

辐射式样品加热台 (Radiation Heating Stage)

辐射式样品加热台

加热器	φ 37.5mm　PG加热器
加热温度	MAX 1000℃
驱动轴	面内旋转
加热材料	PG/PBN SiC W Ta Pt等

EB样品加热台 (EB Heating Stage)

EB样品加热台

加热器	φ 0.3mm/W
HV/温度	1000V/104mA-»1380℃ 450V/260mA-»1500℃（放射温度计测定）
可选组件	通电加热装置
样品台形状	复数可选

通电样品加热台 (Electrical Heating Stage)

通电样品加热台

通电方式	单侧浮标/GND连接型两侧浮点通电型
辐射加热温度	800℃
样品台形状	复数可选,和辐射加热器组合使用，可保证衬底的稳定加热。

卤素灯样品加热台 (Lamp Heating Stage)

卤素灯样品加热台

加热器	卤素灯
加热温度	MAX 500℃
对应环境	可对应耐酸腐蚀，低真空，反应气体等环境
对应形状	可对应圆形，角形，筒形等

液氮样品冷却台 (Liquid Nitrogen Cryostat )

液氮样品冷却台

冷去方式	液氮
冷却到达温度	MAX 500℃
可选组件	温度控制系统，样品台

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