中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALM275系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统移动的标准型中空Z轴驱动器。
中空Z轴驱动器
ALM275系列
|
|
特点
-
超高真空环境对应
-
可对应长行程，电机驱动
-
轻量把手设计，便于操作
-
中空型：内径φ39mm
规格
|
型 号
|
Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
|
A连接法兰
B移动法兰
|
C(mm)
|
D(mm)
|
重量(Kg)
|
|
ALM-275/25
|
25
0.5
|
ICF70-FH
ICF70-FT
|
85～110
|
181
|
1.8
|
|
ALM-275/50
|
50
0.5
|
85～135
|
206
|
2.8
|
|
ALM-275/100
|
100
0.5
|
105～205
|
276
|
3.8
|
|
ALM-275/150
|
150
0.5
|
130～280
|
351
|
5
|
|
ALM-275/200
|
200
0.5
|
160～360
|
431
|
7.8
|
|
ALM-275/300
|
300
0.5
|
210～510
|
581
|
7.2
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃
|
中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALM4系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统移动的中空Z轴驱动。
中空Z轴驱动器 ALM4系列
|
|
特点
-
超高真空环境对应
-
可对应长行程，电机驱动
-
轻量把手设计，便于操作
-
中空型：内径φ70mm
规格
|
型 号
|
Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
|
A连接法兰
B移动法兰
|
C(mm)
|
D(mm)
|
重量(Kg)
|
|
ALM-4/50
|
50
0.5
|
ICF114-FH
ICF114-FT
|
150～200
|
222
|
11
|
|
ALM-4/100
|
100
0.5
|
160～260
|
282
|
12
|
|
ALM-4/150
|
150
0.5
|
185～335
|
357
|
13
|
|
ALM-4/200
|
200
0.5
|
220～420
|
442
|
14
|
|
ALM-4/300
|
300
0.5
|
227～527
|
549
|
16
|
|
ALM-4/500
|
500
0.5
|
300～800
|
822
|
21
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃
|
中空Z轴驱动器 (Z-axis Manipulator) ALMS系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统移动的中空Z轴驱动器。
中空Z轴驱动器
ALMS系列
|
|
特点：
-
超高真空对应
-
紧凑设计便于安装
-
分解能：0.1mm
-
中空型：内径φ70mm
规格：
|
型 号
|
Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
|
A连接法兰
B移动法兰
|
C
(mm)
|
D
(mm)
|
E
(mm)
|
重量
(Kg)
|
|
ALMS-275/25
|
25
0.1
|
ICF70-FH
ICF70-FT
|
85～110
|
182～207
|
136
|
2.3
|
|
ALMS-275/50
|
50
0.1
|
85～135
|
182～232
|
2.7
|
|
ALMS-275/100
|
100
0.1
|
105～205
|
232～332
|
3.5
|
|
ALMS-275/150
|
150
0.1
|
120～270
|
282～432
|
4.3
|
|
ALMS-4/275/50
|
50
0.1
|
ICF114-FH
ICF70FT
|
85～135
|
182～232
|
180
|
3.8
|
|
ALMS-4/275/100
|
100
0.1
|
105～205
|
232～332
|
4.6
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃
|
直线导入器(Linear Motion Feedtrough) ALMR系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。
直线导入器 ALMR系列
|
|
特点：
-
超高真空对应
-
实心型：轴径φ6mm（g6）
-
直进能力：120N
-
分辨率：0.01mm
-
可电机驱动
规格：
|
型 号
|
Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
|
A连接法兰
|
移动轴径(mm)
|
C(mm)
|
D(mm)
|
重量(kg)
|
|
ALMR-133/10
|
10
0.01
|
ICF34-FH
|
φ6
(g6)
|
130.5
|
50～60
|
0.7
|
|
ALMR-133/20
|
20
0.01
|
153.5
|
50～70
|
0.8
|
|
ALMR-133/50
|
50
0.01
|
213.5
|
50～100
|
0.9
|
|
ALMR-275/20
|
20
0.01
|
ICF70-FH
|
153.5
|
50～70
|
1
|
|
ALMR-275/50
|
50
0.01
|
213.5
|
50～100
|
1.2
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃
|
|
直进能力
|
120N
|
直线导入器 (Linear Motion Feedtrough) ALML系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。
直线导入器 ALML系列
|
|
特点：
-
超高真空对应
-
实心型：轴径φ6mm（g6）
-
直进能力：150N
-
分辨率：0.5mm
规格：
|
型 号
|
Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
|
A连接法兰
|
移动轴径(mm)
|
C(mm)
|
D(mm)
|
重量(kg)
|
|
ALML-133/20
|
20
0.5
|
ICF34-FH
|
φ6
(g6)
|
123.5～143.5
|
10～30
|
0.6
|
|
ALML-133/30
|
30
0.5
|
130.5～160.5
|
10～40
|
0.7
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃
|
|
直进能力
|
150N
|
中空直线导入器 (Linear Motion Feedtrough) ALMB系列
适用于各种真空设备，特别是超高真空中驱动系统的直线移动和位置的精确控制。
中空直线导入器 ALMB系列
|
|
特点：
-
超高真空对应
-
中空型：内径φ16mm
-
直进能力：150N
-
分辨率：0.1mm
-
紧凑设计，便于安装
规格：
|
型 号
|
Z轴移动距离(mm)
Z轴移动精度(mm)
|
A连接法兰
B移动法兰
|
C(mm)
|
重量(kg)
|
|
ALMB-133/30
|
30
0.1
|
ICF34-FH
ICF34-FT
|
91～121
|
0.6
|
|
ALMB-133/50
|
50
0.1
|
116～166
|
0.7
|
|
真空漏率
|
≤1.33×10-11Pa/m3/sec
|
|
真空密封
|
焊接波纹管
|
|
驱动方式
|
螺丝式
|
|
烘烤温度
|
≤200℃
|
|
直进能力
|
150N
|
