纳米压印模板——快速掌握纳米压印光刻技术的先进工具

汇德信NEWSLETTER（2006.12）

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汇德信的Newsletter是一封由北京汇德信科技有限公司为您提供的关于德国高新技术、汇德信及其代理厂商最新动态的资讯报导。
北京汇德信科技有限公司（GermanTech Co., Ltd）是由数位留德归国人士根据专业特长创办的高新技术企业，旨在提供广泛的国际化高科技服务。在致力于同国际前沿技术合作并推出自身技术和产品的基础上，目前系统地代理德国产品，广泛应用于高校、研究院所和微纳米工业企业，产品包括：表面科学分析仪器、扫描探针显微仪器、微纳米技术重要工艺设备、测量技术设备（介电、温度）等。

本期专题：纳米压印模板——快速掌握纳米压印光刻技术的先进工具


目录:

一，纳米压印光刻技术

二，纳米压印模板、压印胶

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一，纳米压印光刻技术

随着在半导体制造技术的不断发展，光刻技术的极限分辨率不断缩小，光刻技术也变得越来越复杂，高昂的成本甚至连芯片制造厂商也难以承受。与此同时，纳米压印技术已经日渐成熟，它是一种全新的纳米图形复制技术，具有分辨率高、产量高、低成本的特点。
纳米压印技术(NIL)的原理比较简单，通过将刻有目标图形的掩模板压印到相应的衬底上——通常是很薄的一层聚合物膜，实现图形转移后，然后通过热或者UV光照的方法使转移的图形固化，以完成微纳加工的光刻步骤。其相对成本很低，已经在微流体，微光学系统获得了应用。（国际半导体蓝图(ITRS)已经将纳米压印技术列为32nm工艺的候选方案之一）
此外，由于纳米压印技术的加工成本较低，可广泛地应用于生物医学、高密度存储、光子晶体、塑料电子学、太阳能电池、传感器和高精度印刷电路板制作等，因而正在获得越来越多的关注。目前已经开始从实验室走向工业界。

在我国，目前北大、清华、上海交大、华中科大、西安交大等高等学校都已经开始纳米压印曝光技术的研究，但从整体来讲国内的研发工作还处于摸索阶段。其主要原因是经费问题。虽然纳米压印的成本相对于其他光刻技术要低，但对于国内科研单位来说是除了需购置压印设备本身外，光制作模板就需要建立一个完整的微加工实验室才能完成，这使许多老师都望而却步。由此纳米压印技术在应用领域的推广工作受到了极大限制，同时也限制了这项技术本身在国内的深入发展。
为此，我们北京汇德信科技有限公司（GermanTech Co., Ltd）推出了模板加工服务。老师们可以利用我们提供的标准模板和纳米压印胶，方便的熟悉压印工艺技术本身，接下来根据各自的研究课题提出具体要求，我们为您制作模板并提供相关技术。
此外，我们可以利用目前已经形成的比较完整的产品链，为客户提供全面的产品和服务。如制版用的各类光刻机、光刻胶、纳米压印设备、分析测量仪器等。
我们的产品已广泛应用于国内高校、研究院所和微纳米工业企业，包括：北京大学、科学院物理所、半导体所、上海纳米中心等。

二，纳米压印模板、压印胶

2．1紫外纳米压印简介

目前，我们提供紫外固化纳米压印所需的模板、压印胶及相关工艺。
使用过程中，首先在衬底上旋涂一层压印胶，然后将刻有3D图形的模板压入胶内，并用紫外光照射、固化。然后将模板与样品分离。实现图形转移。

2．2压印模板

我们提供的模板有两种，分为硬模板和软模板。前者的材质为石英，后者为PMDS。供验证工艺、设备之用。
此外，还可以根据老师提出的不同需求进行专用模板的设计和加工。

下图是我们的标准硬模板，线宽为50nm~20μm，图形种类多样，验证效果好，更具实际使用的意义。它的寿命长，可以重复使用上千次。

2．4应用示例

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