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微纳制造与加工技术

  系统

• 高分辨紫外/深紫外光刻机
• 扫描针尖电子束光刻机（SPL）
• CERES微纳金属3D打印系统
• 桌面型纳米压印机
• 去胶机（微波等离子去胶机）
• 微波等离子清洗机
• 微生产（组装）系统
• 德国Zoz Simoloyer® 系列
  高能球磨机

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• 纳米马达
• 纳米操纵机械手

真空和薄膜生长技术

  系统

• 脉冲激光沉积系统PLD
• Laser MBE

材料检测及测量技术

• 宽频介电阻抗谱仪
• 杨氏模量无损测量系统
• SCALA 扫描式激光分析仪
• 纳米级三维测量仪
• 原子力显微镜（AFM）
• AFMinSEM
• 德国Keller（凯乐）红外测温仪
• 新品 Keller 削膜机

实验样品及耗材

• 单晶-靶材-衬底-HOPG-高纯材料等

纳米压印工艺解决方案

┗ 纳米压印模板及光栅点阵制作

┗ 光栅

┗ Temicon纳米压印模板

• 光刻胶(抗蚀剂)
• 新品HSQ-光刻胶/SOG

测试及加工服务

• 材料介电性能测试服务
• 提供杨氏模量无损测量服务

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