μAM技术

电化学沉积µAM技术

基于电化学沉积的微增材制造技术（µAM）。

μAM(Additive Manufacturing)技术(源自于FluidFM技术)是将一个枚为离子针尖(iontip)的浸入对应的电解液中。通过准确调节的气压将包含金属离子的液体推送入离子针尖内部的微通道中。液体流量可控制的非常小-低至飞升每秒。在微通道的末端（针尖），含离子的液体被分配至打印表面上。然后将溶液中的金属离子通过电化学还原沉积为金属原子团。由于这些金属原子一起构成的结构块，我们称之为一个像素体。一个像素体的行成也会与针尖产生原子力作用，从而产生光学力反馈信号并被记录下来，通过位移台和针尖在空间方向的移动获得目标3D结构，直到所有体素都被打印出来并构造出完整的微纳结构为止。该电化学打印过程在室温下进行。该工艺可产生高质量的金属结构，这些金属结构可立即使用- 无需任何后处理。

标准的原子力显微镜结构，可在每个像素体生成后作出反馈。这使得系统及时检测对应的像素体是否已经被打印出。

根据需要打印机构的特点，可确定打印方式和步骤，如右图所示。并且，可以通过工艺优化（如，压力、抬针速度、打印顺序设定等）来获得不同表面质量的微结构。