光刻胶/抗蚀剂-紫外光刻胶(Photoresist)
紫外光刻胶(Photoresist)
			
		
| 类型 | 型号 | 特性 | 
|---|---|---|
						正胶 | 
					AR-P 1200 | 
						 适合喷涂(Spray Coating)的正性光刻胶,高灵敏度。胶层表面非常平整,且可很好的保护粗糙的衬底表面,可用于复杂工艺。  | 
				
| AR-P 3100 | 
						 高灵敏度光刻胶.胶膜薄且均匀. 在玻璃和镀铬表面附着力好,可用于光学器件加工,掩膜制作等。另有,AR-P 3170 可以做出 100nm,甚至更小的线条(几十纳米)。  | 
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| AR-P 3200 | 
						 黏度大,可得到厚胶膜,厚度可达几十微米,甚至上百微米。胶膜覆盖能力好,适合粗糙的 Wafer 表面涂胶,可很好的保护结构边缘。图形剖面边缘陡直。适合做LIGA或电镀工艺等。  | 
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						AR-P 3500 AR-P 3500T  | 
					
						 于集成电路制造中的掩膜加工。 高敏感、高分辨率且在金属和氧化物表面附着力好。其中,AR-P 3500T是针对 AR-P 3500 系列进行优化,而新研制的一种光刻胶;性能和AR-P 3500相似,同时还具备了良好的耐等离子刻蚀性能,以及大的工艺宽容度。  | 
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						AR-P 3740 AR-P 3840  | 
					
						 高分辨率光刻胶,制作亚微米结构,适于高集成电路制作。光刻胶表面平整均匀,高敏感度、高对比、工艺宽容度大。 AR-P 3840为染色的光刻胶,可以降低驻波和散射等的影响。  | 
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| AR-P 5300 | 
						 Lift-off工艺用胶,利用普通的光刻工艺便可很容易得进行剥离工艺。高敏感、高分辨率, 且与金属和氧化物表面附着良好。  | 
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						图像反转胶 | 
					AR-U 4000 | 
						 图形反转胶,通过调整工艺参数可实现正胶或负胶性能。图形反转工艺后,光刻胶呈现负胶性能,可以得到非常明星的倒梯形结果,用于lift-off工艺。  | 
				
						负胶 | 
					AR-N 2200 | 
						 适合喷涂的负性光刻胶,高灵敏度。胶层表面非常平整,且可很好的保护粗糙的衬底表面,可用于复杂工艺。  | 
				
| AR-N 4240 | 
						 紫外、深紫外曝光,可做lift-off工艺。 i线、深紫外曝光。适合制作亚微米图形,专为满足先进集成电路制造中的关键工艺要求而设计。良好的耐等离子体刻蚀性能,在金属和氧化物表面的附着力好,并可用于lift-off工艺。  | 
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| AR-N 4340 | 
						 化学放大胶,紫外曝光,可做lift-off工艺。 i线、g线曝光。化学放大胶,高灵敏度,高分辨率,高对比度,在金属和氧化物表面附着力好,可用于lift-off工艺。  | 
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| AR-N 4400 | 
						 厚胶,化学放大胶,可以做lift-off工艺。 i线、g线、深紫外、X-ray、电子束等都可以实现曝光。涂胶厚度从几十微米到上百微米,覆盖能力好,可用于表面粗糙的wafer表面涂覆,且剖面陡直,高分辨率。化学放大胶,灵敏度也非常高。可用于LIGA、电镀等工艺。 采用碱性水溶液显影,除胶非常容易,可以替代传统的SU8胶。  | 
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						SX AR-N 4600-10/3  SX AR-N 4650-10/4 NEW!  | 
					
						 紫外负胶(厚胶),适用于LIGA及MEMS应用,涂胶厚度 10um@1000rpm。SX AR-N 4600-10/3 : 结构稳定性好、重复性好,厚度可达几百微米,适用于长期保留胶体结构的应用,SX AR-N 4650-10/4 : 容易去胶,适合于电铸工艺。  | 
				
			
		
(Process chemicals)
			
		
| 类型 | 型号 | 特性 | 
|---|---|---|
| 显影液 | 
						 AR 300-26, -35  | 
					
						 紫外光刻胶用 显影液  | 
				
| 
						 AR 300-44,-46,-47, -475  | 
					
						 紫外/电子束光刻胶用 显影液  | 
				|
| 
						 AR 600-50,-51,-55,-56  | 
					
						 PMMA胶用 显影液  | 
				|
| 定影液 | 
						 AR 600-60,-61  | 
					
						 电子束光刻胶用 定影液  | 
				
| 除胶剂 | 
						 AR 300-70, -72, -73,600-70  | 
					
						 紫外/电子束光刻胶用 除胶剂  | 
				
| 稀释剂 | 
						 AR 600-01…09  | 
					
						 PMMA胶 稀释剂  | 
				
| 
						 AR 300-12  | 
					
						 紫外/电子束光刻胶用 稀释剂  | 
				|
| 增附剂 | 
						 AR 300-80, HMDS  | 
					
						 紫外/电子束光刻胶用 增附剂  | 
				
			
		


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